研制单位：清华大学微电子学研究所
所在地区：北京市
成果水平：国内领先
一、成果内容简介、关键技术、技术经济指标
清华大学微电子学研究所通过“八五”攻关，已经建设成为我国1微米级VLSI设计和工艺加工的重要研究开发基地；
1、原有工艺研究线经过改造已形成小批量、多品种芯片加工能力，达到年投4in 6000 硅圆片的水平，并开发了以CMOS工艺为主，包括双层多晶硅、双层铝布线、E2PROM、高低压混合电路等多种工艺模块技术。
2、典型产品1兆位汉字ROM生产技术已成功地实现向IC骨干企业华晶集团公司的技术转移，表明我国1微米集成电路和工艺技术已达到实用化程度；
3、开发了1微米工艺监测与诊断用PCM技术，计算枫叶辅助制造系统（CAM）已投入使用，在IC生产管理、设备监控、质量控等等方面取得了良好的效益；
4、完成了SPARC结构的32位RISC微处理器的设计，采用1.2微米阱CMOS工艺，10万个晶体管，芯片面积10.3mmX10.3mm，设计工作频率20-25MHz。同时根据市场需求，又研制成功在仪表、汽车家电和控制领域有广泛市场的8位RISC单片微控制器；
5、开发了1.5微米双层布线CMOS万门门阵系列，完成了3000-40000门母片系列设计，共分10个档次，管腿最多为168条，建立了相应的门阵列宏单元库。在1万门阵列母片上设计并研制成功高速12X12流水线乘法累加器，乘法时间为40纳秒；
6、建立了比较先进的开放型CAE、CAT实验室，形成良好的硬软件配置和环境，已具备设计2万门以上半定制电路及20万元件全定制电路的能力；
7、“八五”期间共开发出21个ASIC新品种，包括具有国内领先水平并有很大市场的IC卡芯片，传真机热印头驱动器动电路、保密通讯系列电路等。
二、经济效益分析； 在完成“八五”攻关任务过程中，清华大学微电子学研究所十分重视科技为经济建设服务，把开发适宜国内产业的实用技术和有市场需求的产品，作为攻关的重点，因而取得了显著的经济和社会效益。
1、该所1微米级1兆位汉字ROM生产技术已实现向华晶集团公司的新成功转移，并获得较高商品率，华晶集团公司还利用转移技术开发出新品，为我国IC工业使自主开发的技术做出了贡献；
2、1.5微米E2PROM成套工艺技术成功用于我国第一块完全国产化的IC卡芯片研制，将对我国“金卡”工程的实施发挥巨大作用。目前，校园卡、交通管理卡等应用正在推广，估计2000年国内各种需求将达2亿张，可形成相应的产业。所研制的8位RISC微控制器可用于智能IC卡。高源漏PN结击穿电压的成套工艺用于传真机热印头驱动电路的研制，该产品年需他各类ASIC新品的加工生产达到200多万元的经济效益；
3、开发的CAM系统先后在上海贝岭微电子公司、无锡华晶集团公司、香港华科公司及清华微电子所工艺线投入使用，产生较大的经济效益。
4、CAE、CAT实验室开放以来，有力地支持了外单位科研和开发任务的完成，该实验室不举办各类软件培训班6次，受训人员40多人，受到用户的好评。
三、成果转化的可行性： “八五”期间，清华大学已与我国IC骨干企业华晶集团公司和上海贝岭微电子公司建立了密切的联系，特别是与上海贝岭微电子公司签订了技术合作协议，其中传真机热印头驱动电路、8位RISC微控制器、1K位E2PROM和数字音响电路等有市场前景的产品已实现转产，这是科研与生产相结合的良好开端。“九五”期间，清华大学微电子所将进一步加强与骨干企业内的需求，还将大力开发IC卡系列芯片和程控交换机用户芯片组，预计年销量可达数千万块，可望取得显著的效益。 |
